立方氮化硼(CBN)是目前已知的硬度僅次于金剛石(莫氏硬度10)的超硬材料,CBN的莫氏硬度9.7,原子結(jié)構(gòu)與金剛石中的碳原子結(jié)構(gòu)類似,具有高密度和高硬度等優(yōu)異特性。同樣作為超硬材料,CBN的研究進(jìn)展卻遠(yuǎn)不及金剛石,在精密加工、第三代半導(dǎo)體、光譜器件等領(lǐng)域發(fā)展受限。因此,發(fā)展大顆粒CBN單晶生產(chǎn)技術(shù)是重要方向。
CBN又被稱為工業(yè)的牙齒,具有比金剛石更加優(yōu)秀的熱穩(wěn)定性和化學(xué)穩(wěn)定性,良好的高溫紅硬性和抗氧化能力,能夠在1300℃下與鐵族元素不發(fā)生反應(yīng),尤其適合加工淬火鋼等黑色金屬。CBN還具有優(yōu)秀的導(dǎo)熱特性,很寬的能帶間隙(Eg>6.2eV),以及很低的介電常數(shù),是一種新型半導(dǎo)體材料,可以用于光學(xué)和量子計(jì)算領(lǐng)域。CBN的種種特性使得其在越來(lái)越多的領(lǐng)域有了更多更大的可能性。
目前CBN的工業(yè)批量合成方法是高溫高壓法,將六方氮化硼(HBN)與觸媒混合,HBN在特定的高溫高壓條件下遵從相變機(jī)理轉(zhuǎn)化為CBN單晶。在該方法中,觸媒的加入可以很大程度上降低HBN向CBN轉(zhuǎn)變所需的溫度和壓力,通過(guò)使用不同的觸媒種類和添加劑,以及改變合成所需的工藝參數(shù),可以實(shí)現(xiàn)對(duì)CBN產(chǎn)量、粒度、色澤、形貌等方面的控制。觸媒主要選用堿金屬、堿土金屬及其氮化物和氮硼化物,較為常用的是Li基觸媒。Li基觸媒合成的CBN單晶透度較好,內(nèi)部晶格缺陷少,晶體強(qiáng)度高,粒度較大。
高溫高壓觸媒法中包括晶種溫度梯度法,該方法是將一些小尺寸的CBN單晶置于HBN和觸媒的混合體中充當(dāng)晶種,CBN晶種位于合成腔體的低溫區(qū)。在高溫高壓的環(huán)境下,由于合成腔體內(nèi)部存在一定的溫度梯度,由HBN 轉(zhuǎn)變的CBN會(huì)到達(dá)低溫區(qū),隨后在晶種表面沉積并生長(zhǎng),實(shí)現(xiàn)大尺寸CBN 單晶的合成制備。溫度梯度法合成的CBN 單晶質(zhì)量較好、尺寸較大,且單晶合成過(guò)程可以控制,但也存在合成所需時(shí)間長(zhǎng)、產(chǎn)量低、對(duì)合成條件要求高等缺點(diǎn)。
國(guó)內(nèi)科研人員曾采用溫度梯度法也成功合成出了粗顆粒的CBN 單晶,通過(guò)晶種-溫度梯度法,在合成壓力為6.0 GPa,溫度為1100℃的條件下,耗時(shí)3小時(shí)合成出了0.5mm的CBN 單晶。之后也有許多科研人員在此基礎(chǔ)上嘗試合成大顆粒CBN單晶,并對(duì)制備技術(shù)進(jìn)行分析研究。通過(guò)對(duì)各學(xué)者研究?jī)?nèi)容的解析,CBN單晶粒度的主要影響因素有合成壓力、合成溫度、合成時(shí)間,以及觸媒。值得思考的是若要制備大顆粒晶體,合成壓力與合成溫度并非越高越好。有學(xué)者通過(guò)實(shí)驗(yàn)研究表明,合成時(shí)間分別為15分鐘、30分鐘、60分鐘,粒度逐步增加,但是增加幅度很小,產(chǎn)量逐步增加且增幅明顯。合成時(shí)間對(duì)產(chǎn)量的影響較大,對(duì)粒度的影響很小。觸媒的影響較為復(fù)雜,為生產(chǎn)大顆粒高品質(zhì)CBN單晶,已形成多種觸媒體系,乃至多元觸媒體系。
國(guó)內(nèi)對(duì)于CBN的研究起步較晚,雖然已經(jīng)發(fā)展成為CBN產(chǎn)能大國(guó),但在高品級(jí)大顆粒CBN單晶生產(chǎn)制備技術(shù)方面仍然與國(guó)外有著較大差距。最大量產(chǎn)粒度在300μm級(jí)別,距離毫米級(jí)別還有很大距離,無(wú)法滿足半導(dǎo)體與光學(xué)器件的要求,限制了CBN在汽車、數(shù)控、電子等領(lǐng)域的應(yīng)用。CBN生產(chǎn)制備技術(shù)還需盡快發(fā)展。
大顆粒CBN單晶研究應(yīng)用前景廣闊,同時(shí)磨料級(jí)CBN單晶現(xiàn)在也在磨削等領(lǐng)域發(fā)揮著重要作用。信陽(yáng)市德隆超硬材料有限公司公司是一家從事CBN單晶研發(fā)、生產(chǎn)、銷售為一體的高新技術(shù)企業(yè),現(xiàn)有DL-8500牌號(hào)亮黑色CBN單晶和DL-7800牌號(hào)琥珀色CBN單晶,涵蓋70/80至325/400全粒度號(hào)產(chǎn)品,歡迎聯(lián)系合作。
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